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Intel 採用 ASML 高數值孔徑 EUV 光刻機打造下一代 Panther Lake 膝上型電腦晶片

Reuters ·
  • Intel 已將 ASML 的下一代高數值孔徑(High NA)極紫外(EUV)光刻機整合到其即將推出的 Panther Lake 膝上型電腦晶片的製造過程中。
  • 這種高數值孔徑裝置每臺成本約為 4億美元,目前正被用於特定晶片層的生產,以最佳化生產資料並幫助行業向更小的原子級特徵尺寸過渡。
  • Intel 正在其 18A 製造工藝中利用這些晶片,將標準 EUV 光刻技術與 2024 年在其俄勒岡州研發基地首批接收的新型高數值孔徑工具相結合。

引述

“此舉將幫助該晶片製造商學習如何更有效地使用該工具。”— ASML

來源

Intel 採用 ASML 高數值孔徑 EUV 光刻機打造下一代 Panther Lake 膝上型電腦晶片 — Heurist Finance